SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

W3+ Fair 2022

Standnummer B20

SENTECH bietet seit über dreißig Jahren Systeme der Plasmaprozesstechnologie (Reaktives Ionenätzen, Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Atomlagenabscheidung) und Dünnschichtmesstechnik (Ellipsometrie, Reflektometrie) an. Im Fokus haben wir Qualität, Flexibilität und Automatisierbarkeit der Anlagen. Anwendungen sind das Ätzen von Mikro- und Nanostrukturen sowie Herstellen und Messen von dünnen Schichten. Unsere Anwender sind namenhafte Forschungsinstitute, die Halbleiterindustrie, Optik, MEMS, Sensorik u.a.

SENTECH vertreibt Anlagen zur Plasma-Prozess-Technologie (Ätz-/Beschichtungsanlagen, ALD, ALE) und Messgeräte zur optischen Dünnschichtmesstechnik (Ellipsometer und Reflektometer).

Produkte

Plasma-Prozess-Technologie:
ICP Ätzanlage für schädigungsarmes Ätzen, RIE Ätzanlage, ICPECVD Anlage für schädigungsarmes Beschichten, ALD und ALE Anlagen. Alle Anlagen können in einen Cluster integriert werden.

Optische Dünnschichtmesstechnik:
SENresearch 4.0 mit breitem Spektralbereich von 190 – 3.500 nm, SENDIRA MIR spektroskopisches Ellipsometer, SENDURO MEMS eine automatisierte Messplattform, Laser Ellipsometer u.a.

Dienstleistungen

Auftragsmessungen, Auftragsbeschichtungen, Auftragsätzungen

Eckdaten

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
IVAM-Mitglied
Konrad-Zuse-Bogen 13
82152 Krailling
Deutschland
Gründungsjahr: 1987

Kontakt

Dr. Helmut Witek
+49 89 897 9607-0

News

Seminar „Plasma-Prozess-Technologie“ in Berlin-Adlershof
01.02.2019 SENTECH veranstaltet am 28. März 2019 ein anwendungsorientiertes Seminar über „Plasma-Prozess-Technologie“ in den Räumen von SENTECH Instruments in Berlin Adlershof. …