IVAM Microtechnology Network
Effiziente Megasonic (=Megaschall) Reinigung von Mikro- und Nanostrukturen. Das ist unsere Stärke! In engen Partnerschaften mit Forschungsinstituten und unseren Kunden werden vorhandene Kräfte gebündelt und für eine bestmögliche Reinigungslösung umgesetzt, ganz nach dem Motto: »Gemeinsam NanoClean beherrschen«, dem Leitmotiv von SONOSYS®. Das Ergebnis sind die weltweit kompaktesten Megasonic Generatoren und Transducer in einem einzigartigen Design. SONOSYS® beherrscht wie kein anderes Unternehmen, die Herstellung hochfrequenter Ultraschallsysteme im Bereich 400 kHz bis 9 MHz. Hauptanwendungsfelder sind vor allem die Wafer Reinigung (Halbleiter), Mikrosystemtechnik/MEMS Reinigung, Ligatechnik und Optik
SONOSYS®-Systeme:
Vermietung von Megasonic Systemen für Versuche beim Anwender
NanoClean, wafer cleaning, megasonics, photomask cleaning
