Die Plan Optik AG weitet Angebot im Bereich der Quarz-Wafer signifikant aus

Die Plan Optik AG weitet das Angebot im Bereich des stark wachsenden Segments der Quarz-Wafer signifikant aus. Neben einer umfassenden Palette an Wafern für standardisierte Prozesse erhalten Kunden für spezielle Anforderungen individuell konfigurierte Quarz-Wafer, in Durchmessern von 2“ bis 300 mm. Dieser Schritt wird begleitet von einer starken Erweiterung der Fertigungstiefe. Durch die Abbildung der gesamten Fertigungskette - vom Sägen des Rohstoffs Silizium-Dioxid aus Ingots bis hin zum fertigen Quarz-Wafer - kann das Unternehmen somit eine hohe Wertschöpfung erzielen.

Die Quarz-Wafer von Plan Optik sind alkalifrei und werden daher als hochreine, praktisch nicht durch Fremdmaterialien verunreinigte Substrate eingesetzt. Typische industrielle Anwendungsbereiche liegen im Aufbau von RF-Modulen, Mikrofluidik-Systemen im Medizinbereich und im Bereich der Herstellung von Telekommunikationsmodulen. Die Wafer sind hochtemperaturbeständig und praktisch fluoreszenzfrei. Sie werden aus amorphem (nichtkristallinem) Silizium-Dioxid mit extrem hoher Reinheit hergestellt, was sich durch eine sehr gute Transmission im ultravioletten Bereich, für sichtbares Licht und im nahen Infrarotbereich auszeichnet. Wafer aus einem solchen Material sind blasenarm und weisen eine sehr hohe Genauigkeit hinsichtlich der Dickentoleranz und Parallelität auf. Der Grad chemischer Verunreinigungen ist auf einem sehr niedrigen Niveau und die thermische Ausdehnung ist sehr niedrig.

Die Wafer werden in Produktionsprozessen zur Verkapselung mikro-mechanischer Elemente wie auch als so genannte Carrier Wafer eingesetzt. Für solche Glas- oder gebondete Glas-Silizium-Wafer kristallisieren sich verstärkt Anforderungen heraus, welche vom Material Quarz am besten erfüllt werden. Hierzu zählen insbesondere Hochtemperatur-Substrate, Substrate für RF-Applikationen, Lithographie-Substrate, Beschichtungssubstrate und Carrier für Halbleiterprozesse. Zur Sicherstellung höchster Qualität setzt die Plan Optik AG Qualitätsmanagementsysteme wie ISO TS 16949, ISO 14001 und ISO 9001 ein.

Kontakt: Markus Wagner, Plan Optik AG
m.wagner@planoptik.com