Sensor zur Dosierung kleinster Flüssigkeitsvolumen

Der Schweizer Sensorhersteller Sensirion AG stellt einen neuen Durchflusssensor für kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Fotolacke und Lösungsmittel für Flussraten unterhalb von 120 ml/min vor.
Der auf Dosierungsanwendungen mit hohen Reinheitsanforderungen in der Halbleiter- und Solarindustrie zugeschnitte Sensor besticht durch schnelle Antwortzeiten von ~40 ms und höchste Sensitivität bis
hinunter zu 3 ml/min. Zudem ermöglicht er die Erkennung von Luftblasen. Der Sensor misst mediengetrennt und ohne bewegte Teile durch die Wand eines geraden Flusskanals. Die Flüssigkeit kommt dabei ausschliesslich mit Teflon und Quartzglas in Kontakt. Der kleine und leichte Sensor verfügt über eine intelligente und robuste digitale RS485 Schnittstelle für lange Distanzen sowie hohe Buskapazität. Gemäss des verantwortlichen Produktmanagers Jonas Horn eröffnet der SLQ-QT105 damit neue Möglichkeiten bei Prozesssteuerungen in der Halbleiterindustrie sowie anderen Märkten. Aufgrund von langsamen Antwortzeiten, Problemen mit Luftblasen und geringer Wiederholgenauigkeit bei kleinen Durchflüssen erfüllten existierende mechanische Lösungen wie Schaufelräder und Ultraschalldurchflussmesser die Erwartungen bislang nicht. Mit dem SLQ-QT105 stehen die Vorteile der CMOSens Technologie nun erstmalig auch für kritische Halbleiteranwendungen zur Verfügung.

Kontakt: info@sensirion.de