18.05.2022

Glascarrier für die Bearbeitung von Galliumarsenid-Wafern


Quelle: Plan Optik AG
18.05.2022

Galliumarsenid (GaAs) wird unter anderem bei der Herstellung von integrierten Mikrowellenfrequenzschaltungen, monolithischen integrierten Mikrowellenschaltungen, Infrarotlicht emittierende Dioden, Laserdioden, Solarzellen und optischen Fenstern verwendet. Die Handhabung und Bearbeitung von dünnen GaAs-Wafern wird normalerweise durch die Verwendung eines Saphirwafers als Carrier ermöglicht, der teuer ist und nach der Verwendung wiederaufbereitet werden muss.

Plan Optik bietet Carrier für die GaAs-Waferbearbeitung mit folgenden Eigenschaften an:

  • preiswert im Vergleich zu Saphir
  • hohe Transparenz von NUV bis NIR
  • hitzebeständig
  • chemisch beständig
  • thermischer Ausdehnungskoeffizient (cte) angepasst an GaAs
  • mehrfach wiederverwendbar

Diese Carrier sind in Durchmessern von bis zu 300 mm erhältlich und sowohl mit blanker oder als auch strukturierter Oberfläche erhältlich. Sie sind mit den meisten gängigen Handlingsystemen für Dünnwafer kompatibel, die temporäres Bonden mit Laser-, chemischer oder mechanischem Debonding verwenden. Zur Rückverfolgbarkeit während der Verarbeitung kann optional eine Lasermarkierung (alphanumerisch oder QR-Code) hinzugefügt werden.

Quelle: Plan Optik AG

Carrier nach kundenspezifischen Spezifikationen

Die Carrier werden basierend auf kundenspezifischen Spezifikationen hergestellt. Darüber hinaus bietet die Plan Optik AG einige sofort verfügbare Carrier über ihre Marke Wafer Universe an. Weitere Informationen über Glascarrier für die GaAs-Waferverarbeitung und darüber wie diese Träger in einem individuellen Dünnwafer-Handhabungsprozess eingesetzt werden können sind beim Unternehmen verfügbar. 

Kontakt: Markus Wagner, Plan Optik AG
m.wagner@planoptik.com

IVAM Mitgliedsprofil

Empfohlene Artikel

19.06.2025

Am 21. und 22. Mai 2025 wurde Dortmund zum europäischen Zentrum für Mikro- und Hochtechnologien. Unter dem Motto „Tech United: …

18.06.2025

IVAM-Mitglied Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) zeigt in dieser Woche auf der LASER World of PHOTONICS in München zukunftsweisende photonische …

17.06.2025

Vom 16. bis 19. Juni 2025 fand die 19. ISEC in Erfurt statt. Rund 100 Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus über …

Empfohlene Veranstaltungen

09.09. - 11.09.2026
Manufacturing Processes for Medical Technology
04.02. - 06.02.2026
Entdecken Sie die Zukunft der Photonik mit IVAM
03.02. - 05.02.2026
Medical Design & Manufacturing - IVAM präsentiert Sonderbereich Micro Nanotech in Halle C