Herstellung von Mikrostrukturen durch elektrochemische Bearbeitung

Die elektrochemische Bearbeitung (electrochemical machining, ECM) eröffnet neue Möglichkeiten der Herstellung von Mikrostrukturen für den Formenbau. Werkstoffe wie Stähle oder Titan, die der Mikrosystemtechnik bisher nur schwer zugänglich waren, können so wirtschaftlich strukturiert werden, was eine Serienproduktion metallischer Mikrokomponenten und -systeme möglich macht.

Auf dem 9. ECM Informationsforum am 15. April 2008 am Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK) der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg tauschten sich über 60 Anwender und Interessenten über praxisrelevante Problemstellungen der ECM-Technologie aus.

Der elektrochemische Bearbeitungsprozess ist durch die anodische, elektrochemische Auflösung eines leitenden Werkstückes gekennzeichnet. Wesentliche Vorteile sind der nahezu kräftefreie Abtragsprozess sowie die geringe thermische Belastung. Des Weiteren wird das Werkstück in einem einzigen Arbeitsablauf fertig gestellt. Es gibt keinen oder einen nur geringen Verschleiß an der Werkzeug-Elektrode; ein Entgraten der Werkstücke ist prozessbedingt nicht notwendig.
 
Das Verfahren erlaubt die Herstellung dreidimensionaler Geometrien. So können komplexe Mikrostrukturen und Freiformflächen gefertigt werden. Der Lehrstuhl Prozesstechnologie erforscht in Kooperationsprojekten die elektrochemische Bearbeitung und hat sich zum Ziel gesetzt, die ECM-Technologie anwendungsorientiert voran zu treiben. Das 10. ECM Informationsforum findet im April 2009 statt.

Albert-Ludwigs-Universität
Institut für Mikrosystemtechnik
Lehrstuhl Prozesstechnologie
Bernd Fürderer
bernd.fuerderer@imtek.uni-freiburg.de  
www.imtek.uni-freiburg.de